低温真空探针台是一种利用液氦/液氮快速制冷并为晶片、器件和材料（薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等）提供真空和低温测试条件下進行非破坏性的电学表征和测量平台。该低温真空探针台可以對材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量。

选配低温选件後，温度可降低到3.2K；选配高温选件，温度范围为20k-675k；控温稳定性：+50mK。

XYZ位移平台形成与精度：X轴51mm，精度20μm；Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm，精度10μm！

XYZ位移平台形成与精度：X轴51mm，精度20μm；Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm，精度10μm！